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易度智能MC100系列,是一款高性能低漂移量氣體質(zhì)量流量控制器,具有極低的溫度漂移和壓力漂移量,可以確保產(chǎn)品長(zhǎng)期使用的穩(wěn)定性和可靠性,減少維護(hù)、調(diào)試、校準(zhǔn)的頻率,降低客戶(hù)維護(hù)成本。
易度智能高可靠高性能質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),可從根本上抑制MFC的零漂、溫漂、壓漂現(xiàn)象,流體在寬流量范圍內(nèi)仍舊保持層流運(yùn)動(dòng),內(nèi)置壓力傳感器和溫度傳感器,能充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異。